5.規(guī)格參數(shù):
X坐標行程:200mm
Y坐標行程:100mm
X、Y坐標分辨率:0.0002mm
平工作臺尺寸(mm):260×270
圓工作臺直徑:ф213mm
圓工作臺角度分劃范圍:0°~ 360°
圓工作臺角度分度值:30"
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物鏡放大率
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總放大率
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工作距離
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視場直徑
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1×
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10×
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79.2mm
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20mm
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3×
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30×
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69.3mm
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6.6mm
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5×
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50×
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50mm
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4mm
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傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30'
角度分劃范圍:360°
角度分度值:1'
角度分劃范圍:±7°
角度分度值:10'
頂針間的*大夾緊長度:700mm
頂針間能容納的*大直徑:ф100mm
高頂針架*大夾緊長度:200mm
高頂針架能容納的*大直徑:ф250mm
數(shù)顯分度頭角度分劃范圍:0°~ 360°
數(shù)顯分度頭角度分度值:5″
測量范圍(mm):5 ~ 200
測桿垂直方向擺動范圍:±3°
*小探測孔徑:ф5mm
*大探測深度:15mm
定位變動性: <1μm
測量力(N):0.1±0.03
長×寬×高=1300×1250×800
5.13環(huán)境要求
室內(nèi)溫度20℃±1℃,相對濕度小于60%
